在芯片制造領域,每一步工藝的精準度都直接決定產品的良率與性能,而超純水作為芯片生產中不可或缺的“工業血液”,其純度要求高——水中任何微小雜質、離子都可能導致芯片電路短路、性能衰減,甚至直接報廢。隨著芯片制程向納米級進階,對超純水的水質標準提出了嚴苛的要求,萊特萊德深耕超純水領域多年,憑借創新工藝與核心技術,推出適配芯片生產的超純水設備,為“芯”制造保駕護航。
傳統芯片生產所用超純水多采用離子交換樹脂工藝制備,雖能滿足基礎水質需求,但存在明顯短板:樹脂需定期再生,不僅耗費大量化學材料與人力成本,再生過程中產生的廢液還會造成二次污染,且出水水質穩定性不足,難以適配高端芯片的生產需求。針對這一行業痛點,萊特萊德經過長期實踐與技術迭代,將膜分離技術與傳統工藝深度融合,采用反滲透加離子交換系統(或EDI)相結合的核心工藝,徹底破解傳統工藝的局限。

萊特萊德超純水設備的核心優勢體現在工藝創新與品質可控上。該設備采用全膜法工藝,先通過反滲透技術截留水中的溶解鹽類、膠體、微生物及有機物,實現深度脫鹽;再通過EDI電去離子技術進行深度精處理,無需酸堿再生即可連續去除水中殘余微量離子,既降低了運行成本,又避免了化學污染。設備搭載PLC智能控制系統,可實現全自動運行、自動啟停與在線水質監測,配備的電阻率監測儀與TOC檢測儀,能實時監控水質波動,確保出水穩定性。
在水質標準上,萊特萊德超純水設備出水水質嚴格符合美國ASTM D5127電子及半導體業用純水水質Type E-1.3標準,電阻率可達18 MΩ·cm(25℃),水中顆粒物、TOC等指標均達到高端芯片生產要求,可廣泛應用于晶圓清洗、蝕刻、光刻等芯片生產關鍵工序,有效防止雜質污染,提升芯片良率。同時,設備采用模塊化緊湊設計,占地面積小,可根據芯片生產規模靈活定制,適配不同廠房布局需求。
深耕行業多年,萊特萊德憑借自主研發的核心膜技術與完善的全流程服務,已為多家半導體企業提供超純水解決方案,其設備運行可靠、能耗低、運行成本低,且無廢液排放,符合綠色生產理念。如今,芯片產業競爭日趨激烈,萊特萊德超純水設備以穩定的性能、嚴苛的水質控制與高效的環保優勢,成為芯片制造企業降本增效、提升核心競爭力的重要支撐,用純凈科技助力我國芯片產業高質量發展。

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